منبع تغذیه RF سری RHH

منبع تغذیه RF سری RHH به فناوری تولید RF بالغ متکی است تا منبع تغذیه RF را با قدرت بیشتر، دقت بالاتر و پاسخ سریع به مشتریان ارائه دهد.با فاز می توان تنظیم، پالس کنترل، تنظیم دیجیتال و توابع دیگر.زمینه های کاربردی: صنعت فتوولتائیک، صنعت صفحه نمایش تخت، صنعت نیمه هادی، صنایع شیمیایی، آزمایشگاه، تحقیقات علمی، تولید و غیره.
فرآیندهای قابل اجرا: رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته پلاسما (PECVD)، اچ پلاسما، تمیز کردن پلاسما، منبع یون فرکانس رادیویی، انتشار پلاسما، کندوپاش پلیمریزاسیون پلاسما، کندوپاش واکنشی و غیره.