می توان آن را با منبع تغذیه RF سری RLS تطبیق داد و به طور گسترده در حکاکی پلاسما، پوشش، تمیز کردن پلاسما، صمغ زدایی پلاسما و سایر فرآیندها استفاده می شود.هنگامی که به تنهایی استفاده می شود، می توان آن را همراه با منابع تغذیه RF سایر سازندگان استفاده کرد.