منبع تغذیه Sputtering
-
منبع تغذیه کندوپاش فرکانس متوسط سری MSB
منبع تغذیه RF سری RHH به فناوری تولید RF بالغ متکی است تا منبع تغذیه RF را با قدرت بیشتر، دقت بالاتر و پاسخ سریع به مشتریان ارائه دهد.با فاز را می توان تنظیم، پالس کنترل، تنظیم دیجیتال و توابع دیگر.زمینه های کاربردی: صنعت فتوولتائیک، صنعت صفحه نمایش تخت، صنعت نیمه هادی، صنایع شیمیایی، آزمایشگاه، تحقیقات علمی، تولید و غیره.
فرآیندهای قابل اجرا: رسوب بخار شیمیایی افزایش یافته پلاسما (PECVD)، اچ پلاسما، تمیز کردن پلاسما، منبع یون فرکانس رادیویی، انتشار پلاسما، کندوپاش پلیمریزاسیون پلاسما، کندوپاش واکنشی و غیره.
-
منبع تغذیه Sputtering سری MSD
منبع تغذیه کندوپاش DC سری MSD از سیستم کنترل DC اصلی شرکت همراه با طرح پردازش قوس عالی استفاده می کند، به طوری که محصول دارای عملکرد بسیار پایدار، قابلیت اطمینان محصول بالا، آسیب قوس کوچک و تکرارپذیری فرآیند خوب است.رابط صفحه نمایش چینی و انگلیسی را بپذیرید، کار با آن آسان است.