کنترل کننده توان سری TPM5
-
کنترل کننده توان سری TPM5
کنترلر توان سری TPM5 ایده طراحی ماژول را اتخاذ کرده و تا 6 مدار را در داخل خود ادغام میکند. این محصولات عمدتاً در کورههای دیفیوژن، PECVD، کورههای اپیتاکسی و غیره استفاده میشوند.